宽体台式等离子清洁仪

较大的台式等离子清洁器，其容量是基本等离子清洁器的四倍，适用于纳米级表面清洁和小样本活化。等离子体处理可以应用于多种材料，包括玻璃、半导体、聚合物和金属。有效的应用包括对基材进行表面清洁以增强附着力、用于微流体设备制造过程的等离子体活化、以及生物材料和聚合物的表面化学改性。

• 可调RF功率（低、中、高功率设置）；最大30W
• 直径6英寸x长度6.5的耐热玻璃室（可选石英室）
• 带有观察窗的铰链门
• 主动风扇散热
• 1/8”NPT计量阀，定性控制气体流量和腔室压力
• 1/8”NPT三通阀，可快速在引入气体、排气和隔离腔室间切换
• 需要一个单独的真空泵来运行等离子过程

用于微流控设备制造、粘附力更强的预粘合制剂用基质的表面清洁，以及生物材料和聚合物的表面改性。