六甲基二硅氧烷

Name: 六甲基二硅氧烷
Brand: ALDRICH

≥98%

别名:

HMDSO

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About This Item

线性分子式:

(CH₃)₃SiOSi(CH₃)₃

CAS Number:

107-46-0

分子量:

162.38

Beilstein:

1736258

EC 号:

203-492-7

MDL编号:

MFCD00008265

UNSPSC代码:

12352103

PubChem化学物质编号:

24852329

NACRES:

NA.22

蒸汽密度

>1 (vs air)

质量水平

200

方案

≥98%

表单

liquid

折射率

n20/D 1.377 (lit.)

沸点

101 °C (lit.)
101 °C

mp

−59 °C (lit.)

密度

0.764 g/mL at 20 °C (lit.)

SMILES字符串

C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C

InChI

1S/C6H18OSi2/c1-8(2,3)7-9(4,5)6/h1-6H3

InChI key

UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N

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一般描述

六甲基二硅氧烷（HMDSO）是一种线性聚二硅氧烷，这种有机硅试剂通常被用作通过等离子体增强化学气相沉积（PE-CVD）技术制备硅化合物薄膜的源气体。在硅集成电路技术中，它还用作硅烷的替代品。已采用傅里叶变换质谱对其通过电子轰击产生的离解电离进行了研究。通过大气压辉光（APG）放电合成等离子体聚合的HMDSO薄膜已被报道。在148K的HMDSO晶体是单斜晶体。在P₄S₁₀中添加HMDSO可提高其作为硫化剂的效率。