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CN
三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽 packaged for use in deposition systems

三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽

三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽 packaged for use in deposition systems
别名:
三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽(V)
线性分子式:
(CH3)3CNTa(N(C2H5)2)3
化学文摘社编号:
169896-41-7
分子量:
468.46

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马库什类别
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芯材
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