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四(三甲基硅氧基)硅烷
97%
别名:
1,1,1,5,5,5-六甲基-3,3-双[(三甲基硅)氧基]三硅氧烷, 四(三甲基硅基)硅酸盐
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关于此项目
线性分子式:
[(CH3)3SiO]4Si
化学文摘社编号:
分子量:
384.84
NACRES:
NA.22
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
EC Number:
222-613-4
MDL number:
Quality Segment
assay
97%
refractive index
n
bp
103-106 °C/2 mmHg (lit.)
density
0.87 g/mL at 25 °C (lit.)
functional group
silyl
SMILES string
C[Si](C)(C)O[Si](O[Si](C)(C)C)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C
InChI
1S/C12H36O4Si5/c1-17(2,3)13-21(14-18(4,5)6,15-19(7,8)9)16-20(10,11)12/h1-12H3
InChI key
VNRWTCZXQWOWIG-UHFFFAOYSA-N
Application
四（三甲基硅氧基）硅烷（TTMS）是一种有机硅化合物，用作在常压压力下通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制备纳米结构有机硅聚合物膜的前体。TTMS与环己烷也可用于PECVD法合成低介电常数SiCOH薄膜。
警示词
Warning
危险代码
Hazard Classifications
Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
靶器官
Respiratory system
存储类别
10 - Combustible liquids
怎么回事？
WGK 3
闪点 (F)
168.8 °F - closed cup
闪点 (°C)
76 °C - closed cup
PPE（个人防护设备）
Eyeshields, Gloves, type ABEK (EN14387) respirator filter