328251
四甲基氢氧化铵 溶液
10 wt. % in H₂O, solution
别名:
N,N,N-trimethyl-methanaminium hydroxide, TMAH, TMAOH
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关于此项目
线性分子式:
(CH3)4N(OH)
化学文摘社编号:
分子量:
91.15
NACRES:
NA.21
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352100
MDL number:
Beilstein/REAXYS Number:
3558708
Concentration:
10 wt. % in H2O
产品名称
四甲基氢氧化铵 溶液, 10 wt. % in H2O
vapor pressure
17.5 mmHg ( 20 °C)
Quality Segment
reaction suitability
core: ammonium
concentration
10 wt. % in H2O
refractive index
n20/D 1.3521
pH
(ca.13 at 20 °C (68 °F))
solubility
water: soluble
density
1.006 g/mL at 25 °C
functional group
amine
SMILES string
[OH-].C[N+](C)(C)C
InChI
1S/C4H12N.H2O/c1-5(2,3)4;/h1-4H3;1H2/q+1;/p-1
InChI key
WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M
General description
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种市售的季铵碱，其碱度明显高于氢氧化铵。
Application
四甲基氢氧化铵溶液（在 H2O 中为 10 wt.%）可用作：
TMAH 由于其高硅蚀刻速率，也可用作硅的各向异性蚀刻剂。使用 TMAH 的主要优点是，由于不存在碱离子，它不会对电路造成危险。
- 一种在 IPA 中使用 2-（3，4-环氧环己基）乙基三甲氧基硅烷（ECTMS）通过溶胶-凝胶法合成环氧多面体低聚倍半硅氧烷（EPOSS）的反应物。
- 一种用于修饰 SnO2 纳米晶体的离子液体，可作为钙钛矿太阳能电池中的有效电子传输层。
TMAH 由于其高硅蚀刻速率，也可用作硅的各向异性蚀刻剂。使用 TMAH 的主要优点是，由于不存在碱离子，它不会对电路造成危险。
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signalword
Danger
Hazard Classifications
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 3 Oral - Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B - STOT RE 1 Dermal - STOT SE 1
target_organs
Central nervous system, Liver,thymus
存储类别
6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
wgk
WGK 3
flash_point_f
Not applicable
flash_point_c
Not applicable
ppe
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter