质量水平
方案
99.999% trace metals basis
表单
liquid
反应适用性
core: titanium
沸点
50 °C/0.5 mmHg (lit.)
密度
0.947 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES字符串
CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI
1S/4C2H6N.Ti/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
InChI key
MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N
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一般描述
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应用
Tetrakis（二甲基氨基）钛（IV）（TDMAT）是通过有机金属化学气相沉积（OMCVD）和通过原子层沉积（ALD）的二氧化钛薄膜的氮化钛（TiN）薄膜的前体。TDMAT 与过量的环戊二烯发生放热反应得到三（二甲基氨基）（η5-环戊二烯基）钛（IV）。
警示用语：
Danger
危险声明
危险分类
Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
补充剂危害
储存分类代码
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
WGK
WGK 3
闪点(°F)
-22.0 °F - closed cup
闪点(°C)
-30 °C - closed cup
个人防护装备
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
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