759562
三（二甲氨基）硅烷
packaged for use in deposition systems
别名:
三（二甲氨基）硅烷, (Me2N)3SiH, N,N,N′,N′,N′′, N′′-六甲基硅烷三胺, 三（二甲基氨基）硅烷, N,N,N′,N′,N′′′,N′′′-六甲基硅烷三胺, TDMA
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关于此项目
线性分子式:
((CH3)2N)3SiH
化学文摘社编号:
分子量:
161.32
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
EC Number:
239-165-0
MDL number:
Quality Segment
assay
≥99.9% (GC)
form
liquid
bp
142 °C (lit.)
mp
−90 °C (lit.)
density
0.838 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES string
CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
InChI
1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
InChI key
TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N
General description
三(二甲氨基)硅烷是一种具有高挥发性和热稳定性的有机硅化合物，广泛用作气相沉积前驱体，制造用于太阳能电池、燃料电池催化剂和半导体等各种应用的含硅薄膜。沉积可以在低衬底温度下进行（<150）。TDMAS的熔点和蒸气压在合适的工作范围内，是非常好的气相沉积前驱体。
Application
三(二甲氨基)硅烷可用于：
- 作为原子层沉积法将硅酸铝沉积到染料敏化太阳能电池TiO2阳极上的硅源。
- 作为制造锂离子电池功能化硅增强隔膜的前驱体。
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signalword
Danger
supp_hazards
存储类别
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
wgk
WGK 3
flash_point_f
16.0 - 32.0 °F - closed cup
flash_point_c
-8.89 - 0.00 °C - closed cup
Hazard Classifications
Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2