跳转至内容
Merck
CN

主要文件

查看所有文档

496863

五（二甲基氨基）钽（V）

99.99%

别名:

PDMAT, TADMA, Ta(NMe2)5, 钽二甲基胺

登录 查看组织和合同定价。

选择规格

变更视图

关于此项目

线性分子式:
Ta(N(CH3)2)5
化学文摘社编号:
19824-59-0
分子量:
401.33
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
24873088
UNSPSC Code:
12352103
MDL number:
MFCD01631286
技术服务
需要帮助？我们经验丰富的科学家团队随时乐意为您服务。
让我们为您提供帮助

Quality Segment

100

assay

99.99%

reaction suitability

core: tantalum, reagent type: catalyst

mp

100 °C (dec.) (lit.)

SMILES string

CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5

InChI key

VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

General description

基材原子数：73 钽

Features and Benefits

氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。

pictograms

FlameCorrosion
GHS02,GHS05

signalword

Danger

存储类别

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

wgk

WGK 3

flash_point_f

Not applicable

flash_point_c

Not applicable

ppe

Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges

Hazard Classifications

Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 1

历史批次信息供参考:

分析证书(COA)

Lot/Batch Number

It looks like we've run into a problem, but you can still download Certificates of Analysis from our 文件 section.

如需帮助，请联系 客户支持

已有该产品？

在文件库中查找您最近购买产品的文档。

访问文档库