Merck
CN

469947

Sigma-Aldrich

三(二甲基酰胺基)铝(III)

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别名:
Hexakis(dimethylamido)dialuminum, Tris(dimethylamino)alane dimer
线性分子式:
Al(N(CH3)2)3
CAS号:
分子量:
159.21
MDL编号:
PubChem化学物质编号:
NACRES:
NA.23

形式

solid

质量水平

反应适用性

core: aluminum

mp

82-84 °C (lit.)

密度

0.865 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES字符串

CN(C)[Al](N(C)C)N(C)C.CN(C)[Al](N(C)C)N(C)C

InChI

1S/6C2H6N.2Al/c6*1-3-2;;/h6*1-2H3;;/q6*-1;2*+3

InChI key

JGZUJELGSMSOID-UHFFFAOYSA-N

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一般描述

Atomic number of base material: 13 Aluminum

应用

有机金属化学气相沉积法 (OMCVD) 中氮化铝 (AlN) 薄膜的前体。

象形图

FlameCorrosion

警示用语:

Danger

危险声明

危险分类

Skin Corr. 1B - Water-react 1

补充剂危害

储存分类代码

4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water

WGK

WGK 3

闪点(°F)

70.0 °F - closed cup

闪点(°C)

21.1 °C - closed cup

个人防护装备

Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges

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Tris (dimethylamido) aluminum (III): An overlooked atomic layer deposition precursor.
Buttera SC, et al.
Journal of Vacuum Science & Technology. A, Vacuum, Surfaces, And Films, 35(1), 01B128-01B128 (2017)

商品

High Purity Metalorganic Precursors for CPV Device Fabrication

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