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Merck
CN

463094

Sigma-Aldrich

三甲基硼

electronic grade, ≥98.35%

别名:

Trimethylborane

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About This Item

线性分子式:
B(CH3)3
CAS Number:
分子量:
55.91
EC 号:
MDL编号:
UNSPSC代码:
12352300
PubChem化学物质编号:
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等级

electronic grade

方案

≥98.35%

表单

gas

反应适用性

core: boron

杂质

<1 ppm Oxygen (O2)
<1.5% Dimethylethylborane [B(CH3)2C2H5]
<10 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Nitrogen (N2)
<100 ppm Methane (CH4)
<1000 ppm Trimethylamine (TMA)
<50 ppm Hydrogen (H2)

沸点

−20.2 °C (lit.)

mp

−161.5 °C (lit.)

SMILES字符串

CB(C)C

InChI

1S/C3H9B/c1-4(2)3/h1-3H3

InChI key

WXRGABKACDFXMG-UHFFFAOYSA-N

应用

三甲基硼可作为硼-碳膜化学气相沉积的有机金属前体,以及硼磷硅玻璃 (BPSG) 沉积的硼源。
化学气相沉积 (CVD) 所形成碳化硼薄膜的前体。

其他说明

建议使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。

象形图

Gas cylinderCorrosion

警示用语:

Danger

危险声明

危险分类

Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1B

储存分类代码

2A - Gases

WGK

WGK 1

闪点(°F)

Not applicable

闪点(°C)

Not applicable

个人防护装备

Faceshields, Gloves, Goggles, multi-purpose combination respirator cartridge (US)


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