463140
乙硼烷-d6
10% in helium, electronic grade
别名:
Diborane- d6
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关于此项目
线性分子式:
B2D6
化学文摘社编号:
分子量:
33.71
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352300
MDL number:
InChI
1S/2BH3/h2*1H3/i2*1D3
SMILES string
[2H]B([2H])[2H].[2H]B([2H])[2H]
InChI key
NTJHUEGHVSASEP-RVWRRERJSA-N
grade
electronic grade
form
gas (compressed)
concentration
10% in helium, 9-11% (balance is helium)
bp
−92.5 °C (lit.)
mass shift
M+6
Application
乙硼烷气体主要用作外延和非晶硅薄膜沉积的 p 型掺杂剂。乙硼烷-d6 独特的特性可提高设备性能和可靠性。
Other Notes
建议使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。
signalword
Danger
Hazard Classifications
Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Irrit. 2 - Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
target_organs
Respiratory system
存储类别
2A - Gases
wgk
WGK 3
flash_point_f
Not applicable
flash_point_c
Not applicable
法规信息
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