vapor pressure
14 mmHg ( 20 °C)
bp
200 °C
mp
−35 °C
Application
为蒸镀薄膜蚀刻设计，在微电子学上常作为粘结层和阻挡层。极易达到良好的分辨率、光阻相容性和最小蚀刻底切。
Features and Benefits
在 20-50°C 用于聚乙烯储槽。
蚀刻速率
20°C 时 25Å/s，
30°C 时 50Å/s。
用 DI 水冲洗
蚀刻速率
20°C 时 25Å/s，
30°C 时 50Å/s。
用 DI 水冲洗
signalword
Danger
hcodes
Hazard Classifications
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Oral - Acute Tox. 3 Inhalation - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
存储类别
6.1A - Combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
wgk
WGK 2
flash_point_f
Not applicable
flash_point_c
Not applicable
ppe
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
法规信息
新产品
此项目有
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