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Merck
CN

760293

Sigma-Aldrich

2,4,6,8-四甲基环四硅氧烷

packaged for use in deposition systems

别名:

TMCTS

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About This Item

线性分子式:
(HSiCH3O)4
CAS Number:
2370-88-9
分子量:
240.51
Beilstein:
1775282
EC 号:
219-137-4
MDL编号:
MFCD00039567
UNSPSC代码:
12352103
PubChem化学物质编号:
329766852
NACRES:
NA.23

主要文件

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等级

deposition grade

方案

≥99.5% (GC)
≥99.999% (trace metals analysis)

表单

liquid

折射率

n20/D 1.387 (lit.)

沸点

134 °C (lit.)

mp

−69 °C (lit.)

密度

0.986 g/mL at 25 °C (lit.)

储存温度

2-8°C

SMILES字符串

C[SiH]1O[SiH](C)O[SiH](C)O[SiH](C)O1

InChI

1S/C4H16O4Si4/c1-9-5-10(2)7-12(4)8-11(3)6-9/h9-12H,1-4H3

InChI key

BQYPERTZJDZBIR-UHFFFAOYSA-N

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应用

2, 4, 6, 8-Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) is an important precursor for the deposition of polysiloxane, cyclic siloxane, silicon dioxide, oxycarbide thin films with low dielectric constant for microelectronics, semiconductors and other applications

特点和优势

薄膜晶体管 (TFT) 栅极电介质的前体，TiO 上光化学形成的 SiOX 单层的组分。

象形图

Flame
GHS02

警示用语：

Warning

危险声明

H226

危险分类

Flam. Liq. 3

储存分类代码

3 - Flammable liquids

WGK

WGK 3

闪点(°F)

75.2 °F - closed cup

闪点(°C)

24 °C - closed cup

历史批次信息供参考:

分析证书(COA)

Lot/Batch Number

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