401471
六氟乙酰丙酮钯(II)
别名:
六氟乙酰丙酮钯（II）
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关于此项目
线性分子式:
Pd(C5HF6O2)2
化学文摘社编号:
分子量:
520.52
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
EC Number:
265-271-1
MDL number:
InChI key
OVIDFVVPPRGPGR-PAMPIZDHSA-L
InChI
1S/2C5H2F6O2.Pd/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2/b2*2-1-;
SMILES string
FC(F)(F)C(=O)\C=C(/O[Pd]O\C(=C/C(=O)C(F)(F)F)C(F)(F)F)C(F)(F)F
Quality Level
reaction suitability
core: palladium, reagent type: catalyst
Application
用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备。
signalword
Warning
hcodes
Hazard Classifications
Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
target_organs
Respiratory system
存储类别
11 - Combustible Solids
wgk
WGK 3
ppe
dust mask type N95 (US), Eyeshields, Gloves
Lin. W. et al.
Journal of the American Chemical Society, 118, 5977-5977 (1996)
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