401471
六氟乙酰丙酮钯(II)
别名:
六氟乙酰丙酮钯(II)
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关于此项目
线性分子式:
Pd(C5HF6O2)2
化学文摘社编号:
分子量:
520.52
EC 号:
MDL编号:
UNSPSC代码:
12352103
PubChem化学物质编号:
NACRES:
NA.23
质量水平
表单
powder or crystals
反应适用性
core: palladium
reagent type: catalyst
SMILES字符串
FC(F)(F)C(=O)\C=C(/O[Pd]O\C(=C/C(=O)C(F)(F)F)C(F)(F)F)C(F)(F)F
InChI
1S/2C5H2F6O2.Pd/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2/b2*2-1-;
InChI key
OVIDFVVPPRGPGR-PAMPIZDHSA-L
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应用
用于氧化还原金属置换反应,以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积,从而应用于超大规模集成设备。
警示用语:
Warning
危险声明
危险分类
Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
靶器官
Respiratory system
储存分类代码
11 - Combustible Solids
WGK
WGK 3
个人防护装备
dust mask type N95 (US), Eyeshields, Gloves
Lin. W. et al.
Journal of the American Chemical Society, 118, 5977-5977 (1996)
我们的科学家团队拥有各种研究领域经验,包括生命科学、材料科学、化学合成、色谱、分析及许多其他领域.
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