所有图片(2)
About This Item
线性分子式:
Ta(N(CH3)2)5
CAS Number:
分子量:
401.33
MDL编号:
UNSPSC代码:
12352103
PubChem化学物质编号:
NACRES:
NA.23
质量水平
方案
99.99%
表单
solid
反应适用性
core: tantalum
reagent type: catalyst
mp
100 °C (dec.) (lit.)
SMILES字符串
CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI
1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
InChI key
VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N
一般描述
基材原子数：73 钽
特点和优势
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
警示用语：
Danger
危险声明
危险分类
Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
储存分类代码
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
WGK
WGK 3
闪点(°F)
Not applicable
闪点(°C)
Not applicable
个人防护装备
Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges
我们的科学家团队拥有各种研究领域经验，包括生命科学、材料科学、化学合成、色谱、分析及许多其他领域.
联系客户支持