Quality Level
Application
用于氮化硅 (Si3N4)、氮化镓 (GaN) 或氧化铝 (Al2O3) 的快速可控蚀刻。
Features and Benefits
180°C 下的蚀刻速率:
氧化铝 120Å/min
氮化硅 125Å/min
氮化镓 80Å/min
二氧化硅 1Å/min
硅 1Å/min
氧化铝 120Å/min
氮化硅 125Å/min
氮化镓 80Å/min
二氧化硅 1Å/min
硅 1Å/min
signalword
Danger
hcodes
Hazard Classifications
Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1B
存储类别
8B - Non-combustible corrosive hazardous materials
wgk
WGK 1
flash_point_f
Not applicable
flash_point_c
Not applicable
ppe
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
法规信息
危险化学品
此项目有
全球贸易项目编号
| 货号 | GTIN |
|---|---|
| 667447-500ML | 04061838148018 |

