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667498

钨蚀刻剂

别名:

钨腐蚀剂

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关于此项目

UNSPSC Code:
12352300
NACRES:
NA.23
MDL number:
MFCD08705365
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Quality Level

100

General description

钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。

Application

半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用（不需要稀释）。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力（速率在∼70%时下降）为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 °C（30-40 °C最常用）

Preparation Note

1.根据下表选择蚀刻方法蚀刻速率（浸入） 蚀刻速率（喷雾）
  • 20°C = 30 Å/秒
  • 30°C = 140 Å/秒 20°C = 80 Å/秒
  • 60°C = 250 Å/秒

2.用去离子水冲洗

pictograms

Corrosion
GHS05

signalword

Danger

Hazard Classifications

Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A

supp_hazards

EUH032

存储类别

8B - Non-combustible corrosive hazardous materials

wgk

WGK 2

flash_point_f

Not applicable

flash_point_c

Not applicable

ppe

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

历史批次信息供参考:

分析证书(COA)

Lot/Batch Number
MKDB4804
MKDB5033
MKCZ3168
MKCX9437
MKCV5289

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全球贸易项目编号

货号GTIN
667498-500ML04061838148049